中國粉體網訊光刻機：超精密尖端裝備的珠穆朗瑪峰芯片制造工藝主要是在半導體基底上通過氧化、光刻、擴散、離子注入等一系列工藝流程，制作出晶體管、電容、電阻等元器件，并將它們互相連起來的加工工藝，而在整個集成電路制造過程中，光刻是[更多]
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