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半導體零部件

推薦透視靜電卡盤市場，誰主沉��？

中國粉體網訊 在半導體與光學領域中，部分工藝需要使用靜電卡盤（ESC）固定襯底來完成，靜電卡盤通常處于下腔室位置。同時靜電卡盤也可以實現快速加熱以及加載射頻功率調節等離子體狀態的作用。此外靜電卡盤在工藝過程中還具有高穩定性、[更多]

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