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設備特點
兼容雙Loadport上料結構設計
全自動機器人上料
適用于各種材料,應用范圍廣
配備核心HBC,工藝高效
兼容高達10mm彎曲的軟晶圓片
整機精度:±50μm
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產品質量
售后服務
易用性
性價比
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
等離子化學氣相沉積系統-PECVD
紅外氣體傳感器 Gasboard-2060
XRD系列晶向定位
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