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大面積平板鍍膜設備JCPF3500品牌
北京泰科諾產地
北京樣本
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設備名稱：大面積平板鍍膜設備
設備型號：JCPF1600~4500
真空系統：國產或進口分子泵 / 低溫泵 + 羅茨泵 + 機械泵高真空系統
極限真空：優于 2.0×10-4Pa
抽速：從大氣到 3.3×10-3Pa ≤ 30min 升壓率關機 12 小時后真空度≤ 10Pa
工件架尺寸：可根據尺寸定制
工件烘烤溫度 ：室溫～ 300℃，可調可控（PID 控溫）
配置：矩形磁控靶、弧源、離子源、偏壓可選
系統：全自動控制系統，個性化的 Tech-Coating 控制菜單，安全保護系統
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