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鈣鈦礦太陽能電池蒸發設備ZDF3200品牌
北京泰科諾產地
北京樣本
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鍍膜方式：蒸發
腔室結構：方箱式
工藝室尺寸：L1900mmxH2200mmxW550mm
進樣室：500mm×600mm×400mm
過渡室：500mm×600mm×400mm
極限真空：6×10-5pa
基片臺尺寸：300mm×400mm
基片溫度：常溫
均勻性：≤±5.0%
濺射靶：低溫和高溫線源配置
控制：PC
點地面積：4000mm×2500mm×2200
功率：70KW三相五線制
1. 技術先進、設計優化，性價比高，性能穩定，使用維護成本低；
2. 廣泛應用于鈣鈦礦太陽能電池/OPV有機太陽能電池等各種膜層的制備；
如：鈣鈦礦層、電子傳輸層及背電極等膜層的制備；
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