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產品簡介：
EVG 560是一款全自動多腔室晶圓鍵合系統。
主要特點及參數：
·**支持12英寸（300mm）晶圓
·*多兼容4個鍵合腔室
·兼容包括SmartView在內的EVG機械/光學對位裝置
·擁有獨立的底部冷卻系統
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EVG 560是一款全自動多腔室晶圓鍵合系統。
主要特點及參數：
·**支持12英寸（300mm）晶圓
·*多兼容4個鍵合腔室
·兼容包括SmartView在內的EVG機械/光學對位裝置
·擁有獨立的底部冷卻系統
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