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外延片參數
第1層厚度： 250-350nm
第2層厚度： 200±20nm
第2層載流子濃度：1~3×1017cm-3
襯底參數
摻雜：Fe
晶面 ：（010）
雙晶搖擺半高寬：≤350“
尺寸：10mm×15mm
尺寸偏差：<±0.3mm
厚度偏差：<±0.05mm
產品外形示意圖
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