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晶圓產品參數
摻雜：Sn
導電性：n
晶面：(100)
雙晶搖擺半高寬：≤250”
載流子濃度：≥1×1018 cm-3
位錯密度：<1×105 cm-2
目前參考尺寸：4 inch
參考邊：[010]方向
加工指標：晶面偏差：<±1°；直徑：100.0 mm±0.5 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.02 mm；單面拋光，Ra<1 nm
產品外形示意圖
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