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| 大口徑元件散射缺陷檢測儀 | ||
| 型號 | LSDI-2000-LA | LSDI-3000-C |
| 檢測方式 | 全自動 | 全自動 |
| 檢測靈敏度 | ≤200nm | ≤500nm |
| 樣品類型 | 平面 | 球面、非球面 |
| 樣品尺寸 | ≤500mm x 500mm x 80mm ( L x W x H ) | |
注：可以根據客戶需求提供同類定制儀器和相關測試的解決方案
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