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產品介紹
多模態表面缺陷檢測儀(MMDI-2000)，結合全口徑缺陷快速識別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測方式，對表面缺陷尺度、位置、形態進行統計分析，并可結合使用光熱弱吸收、顯微成像等不同模態檢測用戶關注的缺陷區域，獲取關注區域的缺陷信息;也可以利用微分干涉相襯顯微成像技術，實現凸起和凹坑的區分。
| 多模態表面缺陷檢測儀 | |
| 型號 | MMD1-2000 |
| **樣品尺寸 | 100mm x 100mm(L x W)，或根據客戶需求定制 |
| 檢測模式 | 激光散射、光熱吸收、顯微成像;可根據用戶需求定制不同組合模式 |
| 缺陷檢測靈敏度 | ≤0.3 μm |
| 光熱吸收檢測靈敏度 | ≤10ppb |
| 光熱吸收缺陷檢測靈敏度 | ≤10 μm |
| 光熱吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波長 |
| 顯微成像檢測橫向分辨率 | ≤0.5um |
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