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“冰刻”是使用“冰膠”替代光刻膠完成微納加工的電子束光刻技術(shù)。在零下140度左右的真空環(huán)境下，“冰”能夠在平面或立體表面形成均勻“薄膜”，結(jié)合一體化集成電子束加工鍍膜、刻蝕等工藝流程，可實(shí)現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)加工、立體表面加工、敏感材料加工等應(yīng)用。
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