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純化系列 | 脫除雜質ppb | ||||||||
氣體 | 型號 | 純化工藝 | O2 | H2O | CO2 | NMHC | |||
NH3 | PNH | 吸附 (Absorb) | <1 ppb | <1 ppb | <1 ppb | <1 ppb | |||
應用領域：
純化用于半導體、LED應用的氨氣
工藝介紹：
PH21氨氣純化器通過吸附工序，采用雙吸附容器，深度脫除工藝氣體中的O2、H2O、CO2、NMHC，純化和再生模式交替進行，提供對工藝氣的連續純化。
PH21系列氨氣純化系統通過現場原位再生和先進的技術，以高可靠性、低成本及高性能，有效的脫除NH3中的污染雜質，滿足客戶現場需求
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