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指標表
典型應用
應用于半導體、LED/激光、太陽能光伏行業
氣體行業
工藝介紹
PH7-H：通過吸附工序，脫除氣體中的O2、H2O、CO2等雜質，通過吸氣柱脫除N2、CH4；
PH7-H-A: 通過吸附工序,深度脫除氣體中的O2、H2O、CO2、CO 等雜質；
吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復使用；
PH-L: 通過低溫吸附工序，深度脫出氣體中的N2、Ar、O2、H2O、CO、CO2等雜質。
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