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工藝參數：
一，真空系統
1、極限真空度：4.0×10-5Pa
2、抽至10Pa所用時間：≦ 10 分鐘
3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec
二，控制精度
1、靶材旋轉：0.005°
2、工件旋轉:<1000RPM
3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev
4、膜厚修正板：0.005°
5、擋板: position switch
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