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佳能二手i-line光刻機CANON FPA 3000 I4品牌
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Magnification | 5X |
Resolution | 0.35um |
Wafer Size | 8" SEMI (OF) |
Wafer Loader | TYPE6-L |
Reticle Size | 6" |
Reticle Changer | Canon standard Type |
Chamber Type | CD-80 |
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