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4900/5700型電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)品牌
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UEFC-4900
UEFC-4900是UEFC-5700的緊湊版。該系統(tǒng)的源基間距和腔室角度專門為150mm晶圓工藝做了優(yōu)化設計。
強大的中等生產設備
UEFC-4900是用于lift-off工藝的、 高均勻性的、 中等產能的蒸鍍設備。 Auratus方法論提高了有效的薄膜沉積速率，使得客戶能更快的制造晶圓。 與傳統(tǒng)的箱體式鍍膜機相比， UEFC-4900具有以下特點：
· 大的裝片量－25片150mm晶圓
· 在不增加設備占地和功耗的情況下獲得額外的40％晶圓裝片量
· 15分鐘內抽真空至5E-07Torr
· 高真空泵水蒸氣總抽速36500L/s
· 顯著減少的腔室體積和內表面積
UEFC-5700
UEFC-5700是一款采用Auraus薄膜沉積工藝改進方法論的Temescal系統(tǒng)，極大地改善了lift-off鍍膜工藝。 不使用或僅使用極小型的均勻性修正板即可獲得很好的均勻性，并且還能減少高達40％的材料消耗。
超高產能的設備
UEFC-5700是用于lift-off工藝的高產能的蒸鍍設備。 Auratus方法論提高了有效的薄膜沉積速率，使得客戶能更快的制造晶圓。 與傳統(tǒng)的箱體式鍍膜機相比，UEFC-5700具有以下特點：
· 超大的裝片量－42片150mm晶圓
· 在不增加設備占地和功耗的情況下獲得額外的40％晶圓裝片量
· 10分鐘內抽真空至5E-07Torr
· 高真空泵水蒸氣總抽速44000L/s
· 顯著減少的腔室體積和內表面積
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