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美國FSM應力儀
-----應力測試專家，為行業**應力儀！
Semi-Auto（半自動） Fully-Auto（全自動）
* 自動切換的雙光路波長：650納米和780納米
* 測量方式：直徑方向的掃描，可提供形貌圖
* 掃描范圍：對于200mm的硅晶圓為194mm
* 3-D形貌圖：測量臺有旋轉功能，可通過控制軟件中的參數輸入來旋轉測量臺，以完成形貌圖的測量（至少需要測量6個方向的掃描）
* 測量的硅晶圓尺寸： 200mm
* 應力測量的范圍：1X107 dynes/cm2 至 4X1010 dynes/cm2（對于典型的硅晶圓）
* 測量數據輸出：測量數據表格為客戶提供的參數包括，料盒的編號、晶圓的編號、測量次數的編號、應力數值、晶圓曲率半徑的數值、晶圓基片的厚度和鍍膜的厚度，以及測量時間。測量數據可選擇輸出為Excel格式，文本文檔格式，同時可以輸出樣品形貌圖
* 客戶包括Intel，Samsung，LG IBM等等。
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