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KMPR 1000系列光刻膠
KMPR 1000系列光刻膠

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產地

美國

樣本

暫無
香港電子器材有限公司

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KMPR為負性光刻膠,用作DRIE蝕刻掩膜實現高深寬比的圖案,它還被廣泛用作MEMS與生物器件的電鍍模具。因為KMPR減少了Cross-link密度,在Hard baked之前,KMPR比SU-8更容易剝離。KMPR負性光刻膠可在任何(PGMEA),或(TMAH)的顯影劑中得到顯影。

KMPR 1000系列的特性

1)臨時或**的應用程序

2)膜厚:2-75 um

3)兼容標準水性顯影劑

4)高寬比成像和垂直側壁,深寬比:>5:1

5)單一旋途可達100微米

6)減少開裂

7)優異的金屬粘附性

8)優異的電鍍膜液穩定性

相關溶液:

顯影液:SU-8 Developer

去膠液:Remover PG

增附劑:OmniCoat

一般儲存溫度:

-10°C

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10分

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10分

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