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產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 薄膜到厚膜的測量范圍、UV～NIR光譜分析。
? 高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜測量儀。
? 藉由**反射率光譜分析膜厚。
? 完整繼承FE-3000高端機(jī)種90%的強(qiáng)大功能。
? 無復(fù)雜設(shè)定，操作簡單，短時(shí)間內(nèi)即可上手。
? 非線性*小平方法解析光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。
產(chǎn)品規(guī)格：
| 型號(hào) | FE-300V | FE-300UV | FE-300NIR | |
| 對應(yīng)膜厚 | 標(biāo)準(zhǔn)型 | 薄膜型 | 厚膜型 | 超厚膜型 |
| 樣品尺寸 | **8寸晶圓（厚度5mm） | |||
| 膜厚范圍 | 100nm~40μm | 10nm~20μm | 3μm~30μm | 15μm~1.5mm |
| 波長范圍 | 450nm~780nm | 300nm~800nm | 900nm~1600nm | 1470nm~1600nm |
| 膜厚精度 | ±0.2nm以內(nèi) | ±0.2nm以內(nèi) | - | - |
| 重復(fù)再現(xiàn)性(2σ) | 0.1nm以內(nèi) | 0.1nm以內(nèi) | - | - |
| 測量時(shí)間 | 0.1s～10s以內(nèi) | |||
| 測量口徑 | 約Φ3mm | |||
| 光源 | 鹵素?zé)?/span> | UV用D2燈 | 鹵素?zé)?/span> | 鹵素?zé)?/span> |
| 通訊界面 | USB | |||
| 尺寸重量 | 280（W）×570（D）×350（H）mm，約24kg | |||
| 軟件功能 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)功能 | 波峰波谷解析、FFT解析、*適化法解析、*小二乘法解析 | |||
| 選配功能 | 材料分析軟件、薄膜模型解析、標(biāo)準(zhǔn)片解析 | |||
應(yīng)用范圍：
? 半導(dǎo)體晶圓膜(光阻、SOI、SiO2等)
? 光學(xué)薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
應(yīng)用范例：
? PET基板上的DLC膜
? Si基板上的SiNx
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