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勻膠機(英文名：Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜 詳細介紹：勻膠機(英文名：Spin Coater&Spin Processor) 行業俗稱：勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、涂層機 一、產品概述： 勻膠機WS-650Mz-15NPPB適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動，可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是650S 型勻膠機的特點。 |
WS-650-15滿足，**可達直徑305mm（12英寸）圓片或邊長229x229mm（9英寸）方片；*小可達10 mm（可選配*小到3mm或5mm）涂敷。
MYCRO WS650系列旋轉涂膜儀的數碼速度控制器采用的是一個高計數位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器，其設置點精度小于0.006%，獲美國NIST激光測量標準認證，無需校準。
請根據您實際需要的大小和材質選擇相應的旋轉涂膜儀/旋涂儀訂購代碼：
◆ WS-650系列旋轉涂膜儀：
MYCRO新近推出超強功能的新型控制器WS-650型旋轉涂膜儀，在原有WS-400B
型基礎上，增加了電腦交互功能，集成旋涂分析軟件SPIN 3000，可以通過電腦實時分析和控制實驗結果！
NPP材質的6英寸旋轉涂膜儀，MYCRO WS-650系列型號：
WS-650-23N
WS-650-23N-IND
WS-650-23N-OND
（均為NPP材質臺式；8.5英寸（216 毫米）直徑桶狀處理腔；WS-400B可以涂敷**直徑為6英寸（150 毫米）或4英寸 X 4英寸（102 X 102 毫米）的方形基底材料；科研院所用的*理想的旋轉涂敷儀；是銷量**的臺式系統旋轉涂膜儀）
NPP材質8英寸，MYCRO WS-650旋轉涂膜儀系列型號：
WS-650-8N
WS-650-8N-IND
WS-650-8N-OND
（旋轉涂膜儀為NPP材質內置式帶遠程控制器；12.5英寸（318 毫米）直徑桶狀處理腔；旋轉涂膜儀可以涂敷**直徑為8英寸（200毫米）或7英寸 X 7英寸（178 X 178 毫米）的方形基底材料；這系列旋轉涂膜儀是銷量**的wet-bench型系統）
NPP材質13英寸，MYCRO WS-400B旋轉涂膜儀系列型號：
WS-650-15N
WS-650-15N-IND
WS-650-15N-OND
（天然聚丙烯材質外置式帶遠程控制器；直徑為14.5英寸（370 毫米）半圓形處理腔；可以涂敷**直徑為13英寸（330 毫米）的基底材料；我們提供的**天然聚丙烯系統）
MYCRO WS-650系列旋轉涂膜儀內的高精度數碼控制器：
可設定存儲20個不同樣片的旋涂程序段；
每個程序段可以設置51步不同的速度狀態；
旋轉涂膜儀隨意任意時間范圍的加減速，可重復性達到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；這一系列的旋轉涂膜儀上的液晶顯示屏可以實時讀取任意速度狀態
可選配置： IND構造為濕站系統設計，帶遠程控制； OND構造為手套箱系統設計，帶遠程控制； UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒， EBR(Edge Bead Remover)：晶圓去邊，機械裝置； |
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