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港東科技SGC-1A橢圓偏振測厚儀
港東科技SGC-1A橢圓偏振測厚儀

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產(chǎn)地

天津

樣本

暫無
天津港東科技股份有限公司

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儀器介紹:

近代科學技術的許多學科對各種薄膜的研究和應用日益廣泛,因此,測得薄膜厚度和光學參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實際工作中,常常使用橢圓偏振法來進行測量。這種方法測量靈敏度和精度較高,并且是非破壞性測量。他能同時測定薄膜的厚度和折射率。

本產(chǎn)品為手動方式調(diào)節(jié)儀器,測量薄膜的厚度和光學參數(shù)。清晰的展示了橢圓偏振測厚儀的各個部件的結構功能,調(diào)節(jié)方法,使用戶可詳細的了解橢圓儀的原理結構,并培養(yǎng)其動手操作能力。

技術指標:

編號

名稱

參數(shù)

1

測量范圍

1nm-300nm

2

測量*小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°~180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標*小讀數(shù)

0.05°

7

光學中心高度

152mm

8

工作臺直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機重量

20kg

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