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一、概述

SR-M 針對特定微小區域，可提供微米級的聚焦光斑，同時利用顯微物鏡定位測量點，從而獲取精準位置的厚度表征結果。

■ 光斑大小可進行定制，*小可達到10um；

■ 非接觸、非破壞測量；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析；

■ 配置靈活、支持定制化

二、產品特點

■ 采用高強度鹵素光源，光源穩定性好；

■ 采用光機電高度整合一體化設計，體積小，操作簡便；

■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層；

三、產品應用

廣泛應用于各種介質保護膜、有機薄膜、無機薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。