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ISO-B TYPE 氣動蝶閥
ISO-KF TYPE 氣動蝶閥
ISO-K TYPE 氣動蝶閥
A : Pump
B : Htc pneumatic butterfly valve
C : Process chamber
D : Gauge
E : Gas inlet
產品應用
Htc氣動高真空蝶閥是采用旋轉氣缸驅動的真空蝶閥,密封板搭配O-ring的設計,可完全隔絕真空側與大氣側,具有快速開閉、安裝快速、尺寸小,壽命長等優點。
Htc氣動蝶閥的密封設計,可應用在需完全隔絶具污染及腐蝕氣體制程中。蝶閥閥門安裝于真空幫浦(pump)與制程腔室(process chamber)間。
設計特征
? 旋轉氣缸驅動,快速開啟關閉
? O-ring完成氣密設計
? 密封板位置指示器
? 任意安裝方向
? 高氣導
? 150萬周期壽命
產品分類
? KF25 / KF40 / KF50
? ISO63 / ISO100 / ISO160 / ISO200 / ISO250
Body / P late / Shaft 材質
不銹鋼 (Stainless steel)
保固條件
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