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高真空3位置真空閘閥
超高真空3位置真空閘閥
規格:
采用附銷定氣壓缸, 可于第3位置停止且準確定位
第3位置利用Reed sensor傳感器調整定位
開度重現性佳, 偏差量±1％
可程式控制,彈性大
材質 | 本體 | 304 S.S. | ||
閥車 | 304 S.S. | |||
閘門 | 304 S.S. | |||
波紋管 | AM350 | |||
使用壽命 | HV :DN100 ~ 200_300,000 cycles DN250 ~ 50,000 cycles UHV :DN100 _ 100,000 cycles DN150 ~ 250_50,000 cycles | |||
1大氣壓力下之漏率 | ＜2×10-9 mbar?l /sec for O-ring ＜5×10-10 mbar?l /sec for gasket seal | |||
耐溫限制 | Open | 200℃ Viton? bonnet seal | ||
Closed | 150℃ Viton? bonnet seal | |||
使用壓力范圍 (mbar) | HV: 1x10-8 ～ 1000 UHV: 1x10-10 ～1000 | |||
**使用壓差 ΔP (mbar) | ≦ 30 before opening | |||
標準密封 | 閘門 | Viton O-ring | ||
閥蓋 | Viton O-ring or OFHC copper gasket | |||
驅動器 | 氣動式 Pneumatic | |||
氣壓源 |
| |||
表面處理 | 表面拋砂處理 | |||
選配 | a. 位置指示器 | |||
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