APC 蝶閥

CF蝶閥APC控制系統閥

KF蝶閥APC控制系統閥

ISO 蝶閥APC控制系統閥

APC 電動蝶閥影片簡介

APC 電動蝶閥閘門系統設置

1. 閥
2. 處理室
3. 進氣口
4. 壓力傳感器
5. 傳感器線
6. 控制器和執行器
7. 連接遙控控制器
8. 連接電源線
9. 真空泵

APC 蝶閥特色

• 集成整合壓力控制器

• 精確的壓力控制

• 嚴謹隔離

• 反應時間短

• 友善使用接口

主要應用

真空壓力控制和隔離閥門

應用產業

>> SEMI - 半導體
>> FPD - 光電面板
>> PVD - 物理氣相沉積
>> Solar - 太陽能

蝶閥控制系統 - APC 控制器

APC 軟件功能

使用APC軟件計算機控制提供便利操作功能

• 壓力和位置控制模式

• 附表測試模式=> 1 cycle schedule

• 設置閥打開/關閉速度

• 記錄APC HW/SW 版本, 序列號和型號

• 記錄閥門循環和運行時間

• 設置公差范圍的壓力

• 循環壽命和壓力控制記錄

• 控制器參數上傳和下載

• 斷電保護功能

• 屏幕截圖

• 壓力學習功能