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近年來,中國科學院工會堅持以習近平新時代中國特色社會主義思想為指導,積極響應中華全國總工會“大國工匠”品牌建設,在全院范圍開展“科苑名匠”選樹工作,取得良好成效,廣大職工中涌現出一大批技術精湛、業績突出的高技能人才,為科技創新事業發展作出了重要貢獻。
為表彰先進、樹立榜樣,中國科學院工會授予6名個人和13個團隊中國科學院第六屆“科苑名匠”稱號,中科科儀重大裝備核心零部件產業化團隊獲此殊榮。
中科科儀重大裝備核心零部件產業化團隊,深耕真空技術領域持續創新突破,聚力攻關重大裝備核心零部件高效產業化,形成的分子泵系列產品在集成電路、光伏新能源、航空航天、科學分析儀器等行業廣泛應用,為推動國家產業升級、提升國家科技實力水平做出重要貢獻。團隊逐步建立流程制度標準化、設備配套高效化、制造團隊專業化的生產體系,致力于研制滿足國家重大戰略需求、具有市場競爭力的關鍵產品,解決國家關鍵核心技術“卡脖子”問題。
該團隊實現了磁懸浮分子泵在光伏、鋰電等新能源行業大批量應用,推進半導體專用磁懸浮分子泵系列產品產業化落地,快速滿足第三代半導體碳化硅行業設備對專用分子泵的需求,并實現在刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導體前道工藝關鍵裝備上的應用,為半導體產業設備核心部件國產化發展做出貢獻。
歷經六十余年的傳承與積累,中科科儀重大裝備核心零部件產業化團隊深刻領悟老一輩科學家胸懷祖國、無私奉獻的精神,堅持精益求精、追求卓越的工匠精神,專注科技成果轉化,守初心,擔使命,為高端裝備精密智造注入新動能。
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