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【原創】突破技術壁壘,我國納米二氧化硅磨料如何替代進口?——專訪廣東惠爾特納米科技有限公司鐘榮峰經理


來源:中國粉體網   輕言

[導讀]  本期為您分享的是對廣東惠爾特納米科技有限公司鐘榮峰經理的專訪。

中國粉體網訊  2025年4月16日,由中國粉體網主辦的“2025第二屆高端研磨拋光材料技術大會”在河南鄭州成功舉辦!大會期間,中國粉體網邀請到多位業內專家學者做客“對話”欄目,就高端研磨拋光材料與技術、研磨拋光裝備及應用、行業未來發展等方面進行了訪談交流。本期,我們邀請到的是廣東惠爾特納米科技有限公司鐘榮峰經理。



中國粉體網:鐘經理您好,請從主營產品、企業規模以及研發實力三個方面介紹一下廣東惠爾特納米科技有限公司。


鐘經理:廣東惠爾特納米科技有限公司主要致力于納米二氧化硅相關產品的研發與生產,主營產品包括多種硅溶膠及延伸產品,廣泛應用于半導體拋光、鑄造、涂料、陶瓷拋光、催化劑等多個領域。這些納米二氧化硅產品具有粒徑均勻、分散性好等特點,能為下游產業提供優質的原料支持。


公司擁有7個現代化的生產基地,占地面積達30萬平方米,產能達到每年20萬噸,配備了先進的生產設備與檢測儀器。目前企業員工總數約300人,其中涵蓋了生產、研發、銷售等各個專業領域的人才,形成了較為完善的企業運營體系。


公司高度重視研發創新,組建了一支由多位行業資深專家領銜的研發團隊,團隊成員有多名博士、碩士學歷人員。公司與多所知名高校和科研機構建立了長期的產學研合作關系,不斷投入研發資金,近年來取得了多項專利技術與科研成果,在納米材料技術領域保持著較強的競爭力。


中國粉體網:請問相較于二氧化鈰、氧化鋁等傳統CMP磨料,納米二氧化硅在半導體拋光中的核心優勢體現在哪些方面?


鐘經理:我認為納米氧化硅在半導體拋光中的優勢主要體現在以下幾方面。


一是拋光精度更高,納米二氧化硅的粒徑可以精準控制在極小的范圍內,能夠實現對半導體表面更為精細的拋光處理,有效降低表面粗糙度,滿足半導體制造中日益嚴格的高精度要求;二是化學穩定性好,相較于部分傳統CMP磨料,納米二氧化硅在拋光過程中的化學性質更加穩定,不易與半導體材料發生不必要的化學反應,從而保證了半導體器件的性能和質量。


第三方面,納米二氧化硅分散性優異,納米二氧化硅在拋光液中具有較好的分散性,能夠均勻地分布在拋光體系中,不易團聚。這有助于提高拋光的均勻性,減少表面劃痕和缺陷,獲得更光滑的拋光表面;第四是它具有低磨損性,納米二氧化硅硬度相對較低,在拋光過程中對被拋光材料的磨損較小,特別適用于一些軟質材料或對表面損傷敏感的材料的拋光,能夠在實現拋光效果的同時,最大限度地減少對材料表面結構和性能的影響。


五是環保性好,納米二氧化硅通常具有較好的生物相容性和環境友好性,在生產和使用過程中對環境的污染較小,符合現代工業對環保的要求;最后就是成本優勢,隨著納米二氧化硅生產技術的不斷成熟,其生產成本逐漸降低。在保證拋光效果的前提下,使用納米二氧化硅可以有效降低半導體拋光的成本,提升企業的經濟效益。


中國粉體網:鐘經理,請問公司在納米二氧化硅的制備工藝中(如異形膠體、高純度膠體等)有哪些自主核心技術?


鐘經理:我們公司可以提供特殊的反應條件控制(如溫度、壓強、反應時間等精準控制技術)、獨特的原料處理方法(例如對初始原料進行特殊的預處理以提高最終產品純度等)、創新的合成方法(像新的合成工藝路徑,在粒徑增長過程中加以干擾制備異型膠體)、先進的分離與提純技術(用于得到高純度膠體等產品)等方面。我們一直致力于相關技術研發創新,以保障產品在市場上的競爭力。


中國粉體網:您覺得當前國產納米二氧化硅磨料在高端半導體領域面臨哪些技術瓶頸?惠爾特通過哪些研發策略實現進口替代?


鐘經理:雖然國產納米二氧化硅磨料在顆粒尺寸和形貌控制方面取得了一定進展,但與國際先進水平相比,仍存在差距,需要進一步提高顆粒尺寸分布的窄度和集中度,以實現更精確的拋光效果。其次,高純度的納米二氧化硅是半導體制造中的重要材料,國產產品在純度方面仍需提升,特別是金屬雜質的含量需要進一步降低。目前,國產納米二氧化硅的金屬雜質含量≤400 ppb,而國際同類產品的標準通常更高。


再者,國產納米二氧化硅磨料的工藝穩定性和批量生產的一致性仍需提高,需要建立更加穩定的合成工藝,以確保每一批次的產品性能一致,滿足高端半導體制造的高標準要求。國產納米二氧化硅磨料在國際市場上仍面臨技術封鎖和市場競爭,特別是在高端半導體領域,國外企業憑借技術優勢占據了主要市場份額,國產產品需要突破這些技術壁壘,才能在高端市場站穩腳跟。


那么,對于產品進口替代方面,公司后期可能加大資金投入,建立先進的研發實驗室,購置高端研發設備,吸引優秀科研人才,組建專業研發團隊。針對前面提到的國產技術瓶頸,如聚焦于提高磨料純度的提純技術研發,優化粒徑控制技術以精準控制粒徑分布,研究更好的分散工藝解決分散性問題等。與高校、科研機構合作,產學研結合,借助外部科研力量加速技術突破;也可能與半導體生產企業合作,深入了解實際生產需求,針對性研發。


中國粉體網:鐘經理,近幾年,公司在新產品的開發方面有什么進展?


鐘經理:公司致力于硅溶膠及其延伸產品的開發,包括不同穩定劑(鈉、鉀、氨型硅溶膠),不同粒徑規格的產品。近年來,公司不斷增加研發投入,引進高端技術人才,先進科研檢測設備以及同多所高校、科研單位進行合作,在新產品、新技術上有著較大的進展。


在高純硅溶膠方面,通過原材料的管控,預處理以及分離提純技術,顯著降低雜質含量,尤其金屬離子的含量,雖然和進口產品還有一定的差距,但相信我們通過不斷的努力一定會縮小這個差距。另外,不斷改進生產工藝,精確控制硅溶膠粒徑分布,制備單分散體系的硅溶膠,通過自動化半自動化的工藝控制,保證產品批次間的一致性。


其中,公司開發的SKP系列硅溶膠在涂料中顯著提升耐磨性和抗污性,用于特種紙涂層,可以增加紙張表面摩擦力,用于鑄造行業能顯著提高殼模的表面光潔度,減少鑄件表面缺陷,投入市場后得到客戶的廣泛認可。


中國粉體網:好的,感謝鐘經理接受我們的采訪。

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