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韓國首個碳化硅外延片量產


來源:中國粉體網   空青

[導讀]  SiC(碳化硅)材料專業廠商ArcheArche在韓國京畿道公司總部舉行開幕式活動,宣布碳化硅外延片(簡稱SiC Epi)正式量產。

中國粉體網訊  據CINNO Research報道,SiC(碳化硅)材料專業廠商ArcheArche在韓國京畿道公司總部舉行開幕式活動,宣布碳化硅外延片(簡稱SiC Epi)正式量產,啟動硅碳化(SiC)核心材料國產化。




據悉,Arche公司成立于2014年,是一家專注于通過蒸鍍SiC Epi,為半導體設備廠商供應SiC材料的專業廠商。成果開發出電力半導體核心技術之一SiCEpitaxy(Epi)晶圓。去年成功引進了100億韓元(約5496萬人民幣)的投資,今年開始預計將正式產生銷售額。


碳化硅外延片,是指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶相同的單晶薄膜(外延層)的碳化硅片。實際應用中對外延層質量的要求非常高。而且隨著耐壓性能的不斷提高,所要求的外延層的厚度就越厚,成本也會相應調整。


基于SiC的電力半導體市場一般按照SiC晶圓→SiC Epi→芯片廠商→模組→需求企業的結構構成價值鏈。Arche生產從晶圓到芯片的中間過程SiC Epi晶片,并供應給芯片廠商。


Arche目前擁有德國芯片設備制造商愛思強(Aixtron)生產的G4蒸鍍設備。Arche方面進一步引進了新的G5蒸鍍設備(MOCVD),預計3月份完成建設。在完成對相關設備的爬坡及良率穩定工作后,預計從今年第四季度開始正式量產產品。


電力半導體負責調節需要電力的電子產品、電動汽車、氫能源車、5G通信網絡等電流方向,并起到控制電力轉換的作用。以電動汽車為中心在多個領域應用,最近以SiC為材料制成的電力半導體備受關注。因為與現有硅(Si)等材料不同,SiC在耐久性方面具有卓越性。


SiC功率半導體具有高耐久性的特點,在高溫和高壓的極端環境下可保持98%以上的電力轉換效率。另外,其兼具安全性和通用性,作為代替現有硅電力半導體市場的新一代產品,需求正在激增。


目前,Arche正準備生產用于電動汽車的650V和1200V級SiC Epi晶圓。其目標是未來通過持續研發,開發出除3000V和6000V外,還可用于航空航天、國防領域的12000V級的材料。


Arche公司代表徐尚俊表示,“Arche通過高性能的設備,多年薄膜工藝的Know how,分析系統的最優化,確保了高品質的量產技術“,并稱“在下一代電力半導體市場,阿凱是SiC Epi的專業企業,將引領國內SiC材料技術國產化。”


來源:財經網


(中國粉體網編輯整理/空青)

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作者:空青

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