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哈爾濱年產(chǎn)10萬片碳化硅襯底項目投產(chǎn)


來源:黑龍江日報

[導讀]  日前,科友第三代半導體產(chǎn)學研聚集區(qū)項目一期正式投用。

中國粉體網(wǎng)訊  日前,經(jīng)過一年緊張施工,位于哈爾濱新區(qū)江北一體發(fā)展區(qū)的科友第三代半導體產(chǎn)學研聚集區(qū)項目一期正式投用。


據(jù)悉,科友第三代半導體產(chǎn)學研聚集區(qū)項目由哈爾濱科友半導體產(chǎn)業(yè)裝備與技術研究院有限公司(簡稱科友半導體)與哈爾濱新區(qū)共同投資10億元建設,將打造包括技術開發(fā)、裝備設計等在內(nèi)的全產(chǎn)業(yè)鏈的科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化應用研究集聚區(qū),并以哈爾濱為總部,打造國家級第三代半導體裝備與材料創(chuàng)新中心,成為我省第三代半導體材料研發(fā)及裝備制造的新高地。從2021年7月正式開工以來搶抓工期,短短一年多時間,就完成了項目一期2萬平方米廠區(qū)的建設。


科友半導體成立于2018年,是一家專注于第三代半導體裝備研發(fā)、襯底制造、器件設計、技術轉(zhuǎn)移和科研成果轉(zhuǎn)化的國家級高新技術企業(yè),具備解決我國在高端裝備和襯底材料制造上“卡脖子”問題的超強實力。作為數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展底盤支撐,科友半導體大尺寸碳化硅襯底材料廣泛應用在5G通訊、新能源汽車、芯片制造、照明光源等領域。


科友半導體成立以來,公司創(chuàng)始人趙麗麗一直致力于半導體晶體材料特別是第三代半導體材料的裝備設計開發(fā)、關鍵工藝技術研發(fā)及科研成果產(chǎn)業(yè)化工作。在趙麗麗帶領下,科友科研團隊攻堅克難,取得了可喜成果。


目前,科友半導體研制的碳化硅感應長晶爐已實現(xiàn)99%的部件國產(chǎn)化替代,電阻式長晶爐也具備投產(chǎn)條件。在碳化硅晶體生長方面,科友半導體在6英寸碳化硅單晶厚度上突破32毫米,達到國內(nèi)領先。同時,在長晶周期、生產(chǎn)成本、晶體良率等方面已經(jīng)達到并保持國際同行業(yè)先進水平。


科友第三代半導體產(chǎn)學研聚集區(qū)的建成投用,將使科友半導體以更高的長晶良率、更快的長晶速度、更低的長晶成本,弄潮第三代半導體行業(yè)大潮,致力成為全球第三代半導體關鍵材料供應商之一。


“目前生產(chǎn)車間里已經(jīng)安裝完100臺長晶爐,后續(xù)還要安裝100臺。預計年底全部達產(chǎn)后可形成年產(chǎn)10萬片6英寸碳化硅襯底的生產(chǎn)能力。”科友半導體副總經(jīng)理段樹國告訴記者,科友第三代半導體產(chǎn)學研聚集區(qū)將繼續(xù)深耕第三代半導體材料和裝備領域,努力實現(xiàn)碳化硅材料從提純—裝備制造—晶體生長—襯底加工—外延晶圓的全產(chǎn)業(yè)鏈閉合,成為行業(yè)內(nèi)頂尖的材料端全閉合企業(yè)。按照企業(yè)發(fā)展規(guī)劃,未來兩年科友半導體將實現(xiàn)年產(chǎn)20萬~30萬片碳化硅襯底的產(chǎn)能,成為全球碳化硅襯底重要供應商之一。


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川)

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