推薦陶瓷手臂：晶圓搬運(yùn)的“天選打工仔”

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 半導(dǎo)體機(jī)械手是半導(dǎo)體設(shè)備的重要零部件之一，通常由控制器、驅(qū)動(dòng)器、手臂及末端執(zhí)行器等部分組成，具有高潔凈度、高平穩(wěn)性、高精度、高效率和高可靠性的特點(diǎn)。其主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的前段工序，用于搬送、運(yùn)輸以及定位半導(dǎo)體[更多]