該技術是動、靜態結合的高純氮化硅粉體燒結工藝,其目的是使爐內反應氣體保持一定的比例關系;提高控制精度,在靜態時控制反應速度,動態時換氣。 采用該技術生產的氮化硅粉性能指標已經接近目前德國M11粉,超過日本Dan[更多]
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