推薦盛美上海等多家廠商迎突破 碳化硅設(shè)備國(guó)產(chǎn)化加速

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司通過(guò)微信公眾號(hào)平臺(tái)宣布，其推出了新型化學(xué)機(jī)械研磨后（Post-CMP）清洗設(shè)備。盛美上海指出，這是公司第一款Post-CMP清洗設(shè)備，該設(shè)備可用于制造高質(zhì)量襯底化學(xué)機(jī)械研[更多]