推薦破解大尺寸氮化鋁加工瓶頸：化學機械拋光在晶圓表面超精密加工的創新實踐

中國粉體網訊 近年來，以氮化鋁、氧化鎵、金剛石等為代表的第四代超寬禁帶半導體材料逐漸興起，它們具有超寬禁帶、高電壓擊穿場、高熱導率、低熱膨脹系數以及耐高溫、抗輻射等特性，在紫外探測、芯片制造、高頻大功率電子器件等領域內顯示出[更多]