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半導體光刻設備

推薦合成石英玻璃:想“上天”,先輕點“膨脹”

中國粉體網訊 相較于其他低膨脹石英玻璃,SiO2-TiO2石英玻璃的熱膨脹系數更低,在一定溫度范圍內甚至可以做到零膨脹或負膨脹,因此摻鈦石英玻璃又被稱為超低膨脹石英玻璃。超低膨脹石英玻璃具有極低的熱膨脹系數,是半導體光刻設備[更多]

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