磨拋盤直徑:
-主軸轉速:
-單位能耗:
-裝機功率(kw):
Max:12KW Avg:5KW成品細度:
-工作原理:
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名稱 | 參數 |
加工能力 | 300mm×300mm |
可加工面形 | 平面、球面、非球面、自由曲面、拋物面等 |
可加工材料 | 石英、微晶、ULE、藍寶石、單晶硅、碳化硅等 |
可加工精度 | 亞納米加工精度、可實現面形RMS<1nm超高精度加工 |
X軸行程 | ≥300mm |
Y軸行程 | ≥300mm |
Z軸行程 | ≥300mm |
離子源 | 德國射頻離子源 |
中和器 | 德國 |
工作真空建立時間 | ≤1 hours |
副室真空建立時間 | ≤15 min |
保護功能 | 具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統故障保護、離子源故障保護等 |
智能功能 | 具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。 |
外形尺寸 | 長寬高:2.5x2.5x2.1m |
整機重量 | 4噸 |
能耗功率 | Max:12KW Avg:5KW |
暢銷的離子束拋光機
雙真空室,快速更換工件,離子束拋光生產效率高。
集成法拉第杯和三坐標測頭,法拉第杯測量離子束空間位置及分布,三坐標側頭測量工件空間位置及姿態,從而建立精準加工坐標系,實現高確定性、高精度的離子束拋光,有效消除中高頻誤差。
工件側立式裝夾,離子束拋光操作方便、可靠、穩定。
無線操作手柄,
離子束拋光控制軟件高度集成、智能;離子束拋光保護措施完善,具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統故障保護、離子源故障保護等。
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集成法拉第杯和三坐標測頭,法拉第杯測量離子束空間位置及分布,三坐標側頭測量工件空間位置及姿態,從而建立精準加工坐標系,實現高確定性、高精度的離子束拋光,有效消除中高頻誤差。
工件側立式裝夾,離子束拋光操作方便、可靠、穩定。
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離子束拋光控制軟件高度集成、智能;離子束拋光保護措施完善,具備意外斷電、斷水、斷氣等故障報警保護、運動系統故障保護、離子源故障保護等。
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