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CSU200 sic缺陷檢測(cè)設(shè)備品牌
中科慧遠(yuǎn)產(chǎn)地
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csU200 sic缺陷檢測(cè)設(shè)備
CSU200設(shè)備是中科慧遠(yuǎn)對(duì)SiC襯底及外延產(chǎn)品開發(fā)的缺陷檢測(cè)設(shè)備。該設(shè)備通過(guò)顯微成像系統(tǒng)和光致發(fā)光技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)各類SiC晶片表面及晶體缺陷的檢測(cè)和分類。該設(shè)備可適用于SiC襯底的來(lái)料檢、出貨終檢，以及Sic外延的過(guò)程檢和出貨終檢。
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