非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
真空溫控精度：
-最高溫度：
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設備性能指標 | ||
1 | 工位數 | 1-2管（可依據實際生產工藝設計） |
2 | 額定溫度 | 900℃ |
3 | 工藝溫度 | 500℃-800℃ |
4 | 加熱溫區段 | 3-5段獨立控溫，（可依據實際生產工藝設計） |
5 | 系統極限真空度 | ≤5*10-4Pa |
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