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工作原理
使用1個電流源通過串聯(lián)加熱兩組燈絲組，每個燈絲組有21個燈絲位置，允許一次對21個位置進行去氣，也可連續(xù)依次對2組燈絲（42個）進行去氣。設(shè)備的工作程序設(shè)定和設(shè)備的操控采取平板電腦觸摸屏的方式。
技術(shù)指標
?輸入電源：220 VAC（±10%），50-60 Hz
?輸出能力：0-150 V / ******15 A（電流控制精度±50 mA）
?控制系統(tǒng)：Intel Celeron J1800處理器，2GB SRAM，支持RS485通信
真空保護
?啟動閾值：≤ 5×10?? mbar（自動觸發(fā)去氣流程）
?異常終止：≥ 5×10?? mbar（自動暫停去氣流程）
高效去氣模式
?支持自定義燒帶流程，可設(shè)定電流值（如閃燒電流≤4.8 A）及間隔時間，程序文件斷電后仍可保存。
智能監(jiān)控
?通過平板電腦觸摸屏實時顯示真空度、燈絲電流/電壓、分子泵轉(zhuǎn)速等
關(guān)鍵參數(shù)
?尺寸：68 cm（長）× 62 cm（寬）× 150 cm（高，打開腔室時）
?重量：80 kg（不含前級機械泵）
?輸入電源：220 VAC（±10%），50-60 Hz
運行環(huán)境
?溫度：10-35℃
?濕度：30%-90%（無冷凝）
?海拔：**3000米
安全與保障
?緊急電源切斷開關(guān)，支持快速斷電
?真空腔體高溫防護罩，防止燙傷
質(zhì)量保障體系
?認證標準：ISO 9001/CE雙認證
?老化測試：72小時連續(xù)高溫真空測試
?泄漏控制：年泄漏率＜0.5%（氦質(zhì)譜檢測）
服務支持
交付周期：10-12周（含定制化調(diào)試）
技術(shù)支持：24小時診斷響應
數(shù)據(jù)服務：操作日志自動生成（溫度/電流/真空度時間序列）
暫無數(shù)據(jù)！
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