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主要特點：
設備特點：
采用高精度二維直線電機平臺，DD馬達晶圓雙臂搬運機器人，全自動視覺定位，設備配置標刻內容校驗功能
主要參數:
| 主要參數 | 加工尺寸 | 2-6寸、4-8寸、8-12寸晶圓片 |
| 加工速度 | UPH≥60pcs | |
| 加工精度 | ±10μm | |
| 平臺參數 | 行程400mm*250mm， 重復定位精度±0.002mm， DD馬達重復定位精度±2arcsec | |
| 激光器參數 | 紫外納秒，平均功率3W | |
| Tact time | ＜60s | |
| 稼動率 | / | |
| 重大故障間隙時間 | / | |
| 良率 | 99.9% |
加工效果：
全自動晶圓ID打標設備
設備型號：DSI-G-WMN6021-A
應用范圍：適用于2-6寸、4-8寸、8-12寸Si、SiC、InP、GaSb、GaN、Sapphire、Glass、LT等材料的晶圓裸片標記二維碼，一維碼或字符等
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