溫控精度：
±1℃最高溫度：
1000℃額定溫度：
750℃非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
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一、 設備名稱、型號：MBF100-10型氣相沉積爐
二、 技術指標與基本配置
2.1 額定溫度：750℃；
2.2 **溫度：1000℃；
2.3 加熱區尺寸：770×770×300mm（W×D×H）；
2.4 有效尺寸：640×640×250mm（W×D×H）；
2.5 外腔體材質：SUS310S；
2.6 內膽材質：熔融石英；
2.7 產品尺寸：Φ120；
2.8 設備產能：每爐可放置16片基板；
2.9 **加熱功率：16kW；
2.10 加熱方式：底部+四側（五面加熱）；
2.11 控溫點數：底部+側面，共2點；
2.12 熱偶類型：K分度；
2.13 升溫速率：≤8℃/min；
2.14 加熱元件：FEC陶瓷纖維加熱器；
2.15 爐門開啟方式：頂開門設計；
2.16 控溫穩定度：±1℃；
2.17 控溫儀表：進口溫控儀，具有PID自整定功能；
2.18 程序步數：20步；
2.19 報警保護：超溫、斷偶等聲光報警保護，并具有超溫報警斷電保護功能；
2.20 表面溫升：＜35℃；
2.21 設備重量：約500kg；
2.22 外形參考尺寸：1200×1200×1500mm（W×D×H），實際尺寸以*終產品為準；
2.23 設備外顏色：淺灰色。
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