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水平式長晶爐
水平式長晶爐

參考價格

面議

型號

水平式長晶爐

品牌

中科漢達

產地

遼寧

樣本

暫無
沈陽中科漢達科技有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產商

工商已核實

留言詢價
核心參數
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    1100℃
  • 額定溫度:

    -
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HVPE生長系統是自主研發的一臺功能強大,耐用,可靠的氣相外延生長系統,適用于大尺寸、高質量商業化GaN的同質/異質外延生產。內置新研發的控制系統和多溫區加熱系統,支持配方功能,方便工藝參數調用及儲存,設備結構簡單,操作方便,實用性強,能夠滿足大規模體塊GaN的商業化生產需求。

技術參數

生長工藝

HVPE法

產品類型

非標定制

加熱方式

電阻式加熱/感應式加熱

**溫度

1100℃

恒溫區尺寸

100mm

控制方式

PLC集成控制

系統真空檢漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷卻方式

循環水路系統


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