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高溫氧化爐
高溫氧化爐

參考價格

面議

型號

高溫氧化爐

品牌

賽瑞達

產地

江蘇

樣本

暫無
賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產商

工商已核實

留言詢價
核心參數
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    氧氣
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    1380℃~1500℃
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SiC與GaN晶圓氧化工藝設備,工藝時間短,生產效率高,具有出色的工藝性能。

設備特點

◎ 型號:OXIDE150

◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃

◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?

◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher

◎ 晶圓尺寸:≤150mm

◎ 產能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎ 全自動化系統和MES服務


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