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性能特點(diǎn)：
?具有無熱陰極、電離度高的特點(diǎn) ?具有可忽略放電室壁的散射的特性 ?能在低真空度下工作 ?設(shè)備性能穩(wěn)定，使用壽命長 |
主要技術(shù)參數(shù)：
微波源輸出功率 | 260W － 1500W |
| 極限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
| 氣體質(zhì)量流量控制 | 多路 |
| 工作氣壓 | 1Pa - 200Pa |
| 磁場強(qiáng)度 | 0 - 1000高斯可調(diào) |
| 偏壓 | 0V - 300V |
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