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HYDROGEN-2L/4L/6L CVD(MOCVD)專用氫氣發生器技術參數：
| 氫氣純度 | 99.9999-99.99999% |
| 氫氣流量 | 1L-17L/min |
| 輸出壓力 | 0-80psi（約0.5MPa） |
| 壓力穩定性 | < 0.001MPa |
| 供電電源 | 220V±10% 50HZ |
| 消耗功率 | 8kw(HYDROGEN-17L) |
| 純水需求 | ＞2MΩ&1L/h |
| 氫氣容積 | ＜20L(HYDROGEN-17L) |
| 環境溫度 | 1-40℃ |
| 相對濕度 | <85% |
| 海拔高度 | ＜2000米 |
| 外形尺寸 | 80x90x100（WxDxH cm）(HYDROGEN-17L) |
| 凈重 | 約200kg(HYDROGEN-17L) |
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