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產品詳情
1、相較現有立式外延爐有更低的硬件成本,更小的占地面積;
2、兼容4/6寸晶圓外延生長,成膜質量好,可實現厚外延層快速生長；
3、更長的維護周期,更低的耗材成本；
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