看了MW系列低壓損氣體流量計的用戶又看了
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性能
可用量程：**0-1000 slpm；*小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）
可調比：200:1
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
可重復性：0.2%滿量程
標準控制器響應時間常數：5-10ms
無需預熱時間
工作條件
兼容氣體：98種預置可選氣體校準；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
**內部壓力（靜態）：45 psig（60 psia）
**差壓（進口至出口）：15 psid
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
暫無數據！
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