溫控精度:
-最高溫度:
-額定溫度:
-非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結氣氛:
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我公司研發的LJ-PVT-4系列全自動氣相生長單晶爐,是碳化硅和氮化鋁晶體生長的專用設備。設備的軟硬件皆由專業人員共同完成。經我司及客戶多年來實際運行,其可靠性、穩定性都得到驗證。
我公司提供的碳化硅單晶生長爐包括如下組成:
嵐鯨光電目前通過多種方式與國內企業進行交流合作,包括設備提供、技術轉讓、SiC晶體供應、原材料供應、委托研發、工藝優化等。 我公司可以提供的產品和服務如下:
● 設備整體機械結構框架
● 真空系統
● 提拉系統
● 壓力測量系統
● 溫度測控系統
● 流量控制系統
● 爐膛及保溫
● 生長電源
● 控制電腦及軟件
● 系統設計及使用手冊
● 培訓及調試服務
*關于我司碳化硅單晶生長爐的具體特點優勢、技術參數歡迎來電咨詢。
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