CCS-UHV超高真空系統(tǒng)

Janis有多種用于UHV系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，包含非烘烤系統(tǒng)和烘烤系統(tǒng)。

非烘烤UHV系統(tǒng)

閉循環(huán)制冷機(jī)系統(tǒng)可以配備CF法蘭，UHV兼容的溫度計(jì)和引線，匹配用戶的樣品腔。由于冷頭直接連接恒溫器樣品室，冷頭溫度不能超過(guò)350K，所以整個(gè)閉循環(huán)制冷機(jī)系統(tǒng)不可烘烤。具體圖紙請(qǐng)查看下圖。

可烘烤UHV系統(tǒng)

Janis 10K制冷機(jī)結(jié)合減振設(shè)計(jì)，系統(tǒng)通過(guò)氦氣交換氣體和橡膠波紋管隔離冷頭與樣品間的振動(dòng)。冷頭與樣品之間無(wú)機(jī)械性連接，由交換氣體提供熱接觸，而冷頭單獨(dú)支撐。該設(shè)計(jì)的冷頭便于拆除烘烤，可應(yīng)用于真正的超高真空系統(tǒng)。下圖為基于10K冷頭的UHV減振系統(tǒng)圖紙。

CCS-XG-UHV-204

Model CCS-XG-UHV-204 是一款專(zhuān)門(mén)為超高真空設(shè)計(jì)的恒溫器，可以匹配用戶的超高真空腔。該恒溫器采用交換氣體隔振技術(shù)，冷頭便于拆卸，是一款真正的UHV系統(tǒng)，烘烤溫度可達(dá)500K。該款恒溫器允許烘烤時(shí)將冷頭和波紋管拆卸，烘烤完閉，重新安裝冷頭和波紋管，通入交換氣體降溫，整個(gè)過(guò)程可以保持樣品周?chē)?/span>UHV環(huán)境。請(qǐng)參考圖紙下面的圖紙CCS-100-XG-UHV-204。

標(biāo)準(zhǔn)配置：

lModel CH-204二級(jí)冷頭和水冷壓縮機(jī)

l交換氣體減振設(shè)計(jì)，柔性波紋管連接冷頭和恒溫器

l交換氣體多支管帶泵抽口和交換氣體導(dǎo)入口

l外部真空罩上安裝有6-pin UHV電學(xué)接頭，抽真空閥、減壓閥

l6”可旋轉(zhuǎn)刀口法蘭匹配UHV腔

lUHV兼容的無(wú)氧銅樣品座帶有加熱器和UHV兼容的溫度計(jì)