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微納米機械操縱手臂
微納米機械操縱手臂

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上海昭沅儀器設備有限公司

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德國Kleindiek微操縱儀

德國Kleindiek Nanotechnik超微操縱儀的驅動單元是由壓電陶瓷構成的納米馬達,因此它**的特點是能夠進行納米級精確移動,在保證納米級移動的同時其**的設計可以同時做到毫米級的移動范圍,整個操縱裝置全部由納米馬達驅動,從而保證了系統體積非常小,可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內。

德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀有以下型號以適用于不同的環境: MM3A-LMP Micromanipulator for Light Microscopy

MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy

MM3A-UHV Micromanipulator for UHV

MM3A-LT Micromanipulator for low temperature

德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀MM3A-EM以其高精度、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手,改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統,直接在樣品室內操縱樣品,由此衍生了許多豐富多彩的應用,使得對樣品的研究更深一步。MM3A的移動范圍是三維空間的,X、Y軸可作±120°擺動,Z軸可作12mm的伸長,整個空間的移動范圍達到100立方厘米。系統驅動全部由壓電陶瓷來實現,由此保證了Z軸每個步進的精度可達0.5nm,當采用快速移動模式時,速度可達到2mm/s,可以說是同時兼具了高精度和高效率,**的大行程設計,使得Z軸總行程可達到12mm,納米級的移動精度、厘米級的移動范圍是MM3A的**特點。

MM-3A-LS以其高穩定性、高精度、無漂移的鮮明特性,被廣泛應用于生命科學領域的高靈敏膜電位測量領域。衍生產品MM3A-LMP與光學顯微鏡結合,被廣泛應用于半導體的探針系統中,可適應45nm、65nm、90nm工藝的要求。

顯微操縱儀的極細微的漂移都會影響到細胞膜電位的測量,這就要求顯微操縱儀盡量能做到零漂移,德國Kleindiek Nanotechnik公司生產的MM3A很好地解決了漂移的問題,既使是長時間的測量也沒有漂移的現象。MM3A體積相對傳統的顯微操縱儀而言小了很多,長度約60mm重約45g,這種設計保證了系統的穩定性并降低了系統噪音水平,震動幾乎對MM3A不產生影響。采用磁性基座固定,MM3A可以方便地安裝在載物臺的任何地方。在操縱儀的前端有叉式的玻璃管夾持器,玻璃管的更換簡單易操作。

MM3A-EM技術參數:

Length / Width / Height 60/22/25 mm Operating range XY / Z 240°/12 mm Scan range X / Y / Z 20/15/1μm Max Speed XY / Z up to 10/ 2 mm/s Resolution X 10-7 rad (5 nm) Resolution Y 10-7 rad (3.5 nm) Resolution Z 0.25 nm Hysterisis deviation Z <200 nm Hysterisis Angle (α) Z <10° (0.2 rad)
Lowest temp 273K Highest temp 353K Lowest pressure 10-7 mbar Holding force 1 N Holding torque 3 Nmm - 4 Nmm Lift Y 5g Signal resistance (probing) 7.0Ω Max voltage (probing) 100V ;Max current(probing)100mA

德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀的突出特點: 納米操縱精確度:安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X,Y方向*小移動距離為5nm,在Z方向*小移動距離為0.5nm。

快慢可調的操作速度:可以選擇一個步進0.5nm,也可以選擇**移動速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細操作**地結合在一起。

緊湊的結構設計:MM3A體積小,可以很寬松地在電鏡腔室內安裝1~8個系統。 三維大空間操作范圍:X、Y方向可以做240度的旋轉,Z軸方向做12mm的伸長,MM3A可操作的空間范圍**達100cm3。

幾乎無漂移:我們曾經做過實驗MM3A鎢探針針尖在場發射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片,持續一小時后通過對照片的分析得出,在排除電鏡電壓不穩定因素外,MM3A幾乎不產生漂移。

與電鏡的連接:MM3A安裝在加工好的平臺上,該平臺再固定在電鏡的樣品臺上,整個安放過程十分方便,幾分鐘就可完成,不使用時將平臺卸下取出既可。控制線通過電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封,不會影響電鏡的真空。

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