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簡 介：
經典光學顯微鏡可以擴展成一個完善的掃描干涉顯微鏡使其實用性顯著增加。使用這個高精度3D數據測量原理可以收集整個顯微鏡的可視范圍。顯微鏡和smartWLI可以完成各種類型的3D分析為基礎。
顯微鏡生成的2D圖像
3D圖像——掃描干涉顯微鏡的功能
測量系統 | ||||
測量原理 | 白光干涉法 | |||
z-定位系統 | Piezo 物鏡調節系統 | |||
高度測量范圍 垂直分辨率 | Up to 400 μm 〈1 nm | |||
| 光源 | LED | |||
相機模塊 | CCD 782 x 582 pixel | |||
物鏡放大倍數 橫向測量范圍 *小分辨率 | 10x or 20x or 50x 649x483 um² or 324x241 um² or 129x96 um² 1.66 µm or 0.96 µm or 0.70 µm | |||
測量時間 | <1 min | |||
軟件 | ||||
smartWLI | 軟件用于測量地形和使用一個直接接口到MountainsMap分析軟件輸出的3D數據，自動拼接模塊 | |||
MountainsMap® | 廣泛的分析軟件以及輪廓和三維可視化、測量數據預處理和后處理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量測定，順序處理，測量記錄 | |||
文檔格式 | ASCII， SUR， BCR-STM， BMP， JPEG， TIFF | |||
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